パワーデバイスに用いられる表面処理とボイド
2021.8.10
SiCやGaNなど、新たな半導体素子を利用したパワーデバイスの研究開発が急速に進んでいる。
パワーデバイスの接合面は一般的なSMT分野で行われているはんだ接合より接合面積が大きく、ボイドが残りやすい。
本報では、弘輝が開発したギ酸還元リフロー用ソルダーぺーストE12シリーズを使用して、パワーデバイスで使用される代表的な表面処理とボイド傾向について、ダイボンディング接合部とヒートシンク接合部を模擬して評価を行った結果について報告する。
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